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2007 International Symposium on Semiconductor Manufacturing - 最新文献
Spacer etch optimization on high density memory products to eliminate core leakage failures
Pub Date : 2007-10-01 DOI: 10.1109/ISSM.2007.4446867 E. Dharmarajan, Shengnian Song, L. Mclaughlin, J. Guan, J. Gazda, E. Lin, W. Qi, H. Shiraiwa, J. Hussey, J. Lansford, B. BanerjeeReal option analysis for capacity investment planning for semiconductor manufacturing
Pub Date : 2007-10-01 DOI: 10.1109/ISSM.2007.4446823 Chih-Chiang Chen, Yu-Shian Chiang, Chen-Fu ChienFine edge and bevel film stripping process by novel wet cleaning tool beyond 45nm node
Pub Date : 2007-10-01 DOI: 10.1109/ISSM.2007.4446885 Y. Ogawa, H. Nagashima, Y. Yoshimizu, H. Tomita, T. Kishimoto, K. Miya, A. Izumi
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