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Seventh International IEEE Conference on VLSI Multilevel Interconnection - 最新文献
Tungsten-titanium sputtering target processing effects on particle generation and thin film properties for VLSI applications
Pub Date : 1990-06-12 DOI: 10.1109/VMIC.1990.127887 E. Waterman, J. Dunlop, T. BratModelling fusible CVD glass planarization flow contours
Pub Date : 1990-06-12 DOI: 10.1109/VMIC.1990.127903 L. WhiteStress and TEM measurements as a function of temperature for aluminum alloys
Pub Date : 1990-06-12 DOI: 10.1109/VMIC.1990.127873 D. Gardner, H. Longworth, P. Flinn
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