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2014 IEEE 27th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS) - 最新文献
Inductively coupled plasma etching of bulk tungsten for MEMS applications
Pub Date : 2022-10-01 DOI: 10.1109/MEMSYS.2014.6765687 Lu Song, Nannan Li, Shibin Zhang, Jin Luo, Jia Hu, Yiming Zhang, Shuhui Chen, J. ChenBionic skins using flexible organic devices
Pub Date : 2014-11-06 DOI: 10.1109/ESSDERC.2014.6948752 T. SomeyaAn X-ray detectable pressure microsensor for monitoring coronary in-stent restenosis
Pub Date : 2014-03-13 DOI: 10.1109/MEMSYS.2014.6765785 M. Gulari, M. Ghannad-Rezaie, P. Novelli, N. Chronis, T. Marentis
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