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Proceedings of 1993 IEEE International SOI Conference - 最新文献
Thin-film silicon-on-insulator (SOI) device applications of selective epitaxial growth
Pub Date : 1993-10-05 DOI: 10.1109/SOI.1993.344584 S. Venkatesan, Chitra K. Subramanian, G. Neudeck, J. DentonCrystallographic effects in implantation of oxygen for SIMOX
Pub Date : 1993-10-05 DOI: 10.1109/SOI.1993.344599 M. Anc, B.F. Cordts, L. Allen, W. Krull, M. GuerraHigh temperature testing of SOI devices to 400/spl deg/C
Pub Date : 1993-10-05 DOI: 10.1109/SOI.1993.344547 R. Grzybowski, S.M. Tyson
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