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Optomechanical Engineering 2023 - 最新文献
Alignment strategy of an NA 0.8 Deep UV objective system for semiconductor defect inspection
Pub Date : 2023-10-06 DOI: 10.1117/12.2676602 Yunjong Kim, Young-Soo Kim, Dong-Kyun Kim, Hyun-il ChoMonolithic duplex layer aluminum mirror structure for low surface sag error
Pub Date : 2023-10-06 DOI: 10.1117/12.2676691 Jimin Han, Joong kyu Ham, Geon Hee Kim, B. Moon, Dae-hee Lee, S. Pak
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