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Proceedings IEEE Micro Electro Mechanical Systems. 1995 - 最新文献
Performance impact of monolayer coating of polysilicon micromotors
Pub Date : 1995-04-01 DOI: 10.1109/MEMSYS.1995.472568 K. Deng, R. J. Collins, M. Mehregany, C. SukenikMicro-optical components for fiber and integrated optics realized by the LIGA technique
Pub Date : 1995-01-29 DOI: 10.1109/MEMSYS.1995.472600 M. Gerner, T. Paatzsch, L. Weber, H. Schift, I. Smaglinski, H. Bauer, M. Abraham, W. EhrfeldA quantitative analysis of Scratch Drive Actuator using buckling motion
Pub Date : 1995-01-29 DOI: 10.1109/MEMSYS.1995.472603 T. Akiyama, H. Fujita
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