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2020 International Symposium on Semiconductor Manufacturing (ISSM) - 最新文献
Feature Extraction from Equipment Sensor Signals with Time Series Clustering and Its Application to Defect Prediction
Pub Date : 2020-12-15 DOI: 10.1109/ISSM51728.2020.9377525 Daisuke Hamaguchi, Tomonari Masada, Takumi EguchiUsing Quartz Crystal Microbalance to Provide Real-Time Process Monitoring
Pub Date : 2020-12-15 DOI: 10.1109/ISSM51728.2020.9377515 H. Tsuchiyama, Steven LakemanAI-FDC: Automated Top Down System for Fab Wide Process Equipment Health Monitoring
Pub Date : 2020-12-15 DOI: 10.1109/ISSM51728.2020.9377500 Richard Burch, M. Keleher, Kazuki Kunitoshi
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