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IEEE 4th Technical Digest on Solid-State Sensor and Actuator Workshop - 最新文献
Squeeze-film damping in solid-state accelerometers
Pub Date : 1990-06-04 DOI: 10.1109/SOLSEN.1990.109817 J. B. StarrViscoelasticity and creep recovery of polyimide thin films
Pub Date : 1990-06-04 DOI: 10.1109/SOLSEN.1990.109820 F. Maseeh, S. SenturiaThe mechanism of anisotropic, electrochemical silicon etching in alkaline solutions
Pub Date : 1990-06-04 DOI: 10.1109/SOLSEN.1990.109827 H. Seidel
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