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Proceedings IEEE Thirteenth Annual International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (Cat. No.00CH36308) - 最新文献
A normally closed in-channel micro check valve
Pub Date : 2000-09-25 DOI: 10.1109/MEMSYS.2000.838492 Xuan-Qi Wang, Y. TaiDevelopment of injectable polymer-derived ceramics for high temperature MEMS
Pub Date : 2000-01-23 DOI: 10.1109/MEMSYS.2000.838589 L. An, Wenge Zhang, V. Bright, M. Dunn, R. RajCharacterization of bi-directionally oscillating dynamic flow and frequency-dependent rectification performance of microdiffusers
Pub Date : 2000-01-23 DOI: 10.1109/MEMSYS.2000.838551 Young-Ho Lee, T. Kang, Young‐Ho Cho
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