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2009 IEEE/SEMI Advanced Semiconductor Manufacturing Conference - 最新文献
Design-for-manufacturing features in nanometer processes - A reverse engineering perspective
Pub Date : 2009-05-10 DOI: 10.1109/ASMC.2009.5155953 D. JamesTLS-Dicing - An innovative alternative to known technologies
Pub Date : 2009-05-10 DOI: 10.1109/ASMC.2009.5155947 Hans-Ulrich Zuhlke, G. Eberhardt, R. UllmannFirst Wafer Delay and setup: How to measure, define and improve First Wafer Delays and setup times in semiconductor fabs
Pub Date : 2009-05-10 DOI: 10.1109/ASMC.2009.5155959 Stefan Radloff, Mario Abravanel, Blane Rhoads, Dylan Steeg, P. van der Meulen, M. Petraitis
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