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Proposed for presentation at the ALD 2021 held June 27-30, 2021 in Tampa, FL. - 最新文献
Influence of Plasma Species on the Growth Mode and Material Properties of Indium Nitride Grown by Plasma-Assisted Atomic Layer Epitaxy.
Pub Date : 2021-04-01 DOI: 10.2172/1862766 J. Woodward, Samantha Rosenberg, D. Boris, S. Johnson, Z. Robinson, M. Mastro, K. Ludwig, Charles R Eddy Jr., J. Hite
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