Microsystem Technologies

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Effect of the initial viscosity and substrate corner geometry on edge beading of photoresist films

Pub Date : 2024-09-18 DOI: 10.1007/s00542-024-05770-4 David E. Weidner, Soroosh Mahmoodi

An investigation on static, vibration and stability analyses of elastically restrained FG porous Timoshenko nanobeams

Pub Date : 2024-09-16 DOI: 10.1007/s00542-024-05753-5 Büşra Uzun, Mustafa Özgür Yaylı, Ömer Civalek

Flexible capacitive humidity sensor based on potassium ion-doped PVA/CAB double-layer sensing film

Pub Date : 2024-09-14 DOI: 10.1007/s00542-024-05761-5 Yonghua Zhang, Ling Kang, Songping Yao, Sreejith Karthikeyan, Chaolun Wang, Jian Zhang
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