2021 Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS and MOEMS (DTIP)

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2021 Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS and MOEMS (DTIP) - 最新文献

Brush Painting All-Carbon Wearable Dual Temperature and Strain Sensor for Human Health Monitoring

Pub Date : 2021-08-25 DOI: 10.1109/dtip54218.2021.9568676 A. Arshad, Muhammad Umaid Bukhari, M. Q. Mehmood, M. Zubair, K. Riaz

BEOL modifications of a 130 nm SiGe BiCMOS technology for monolithic integration of thin-film wafer-level encapsulated D-Band RF-MEMS switches

Pub Date : 2021-08-25 DOI: 10.1109/dtip54218.2021.9568672 A. Göritz, S. Wipf, M. Wietstruck, M. Kaynak, M. Fraschke, A. Krüger, M. Lisker

Titanium isotropic and anisotropic etching for MEMS applications

Pub Date : 2021-08-25 DOI: 10.1109/dtip54218.2021.9568501 R. Ettouri, T. Tillocher, P. Lefaucheux, B. Boutaud, J. Phung, H. Philippe, R. Dussart
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