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2000 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS (Cat. No.00EX399) - 最新文献
Directly patternable thick film hybrid glass materials for micro-opto-mechanical structures
Pub Date : 2000-08-21 DOI: 10.1109/OMEMS.2000.879651 J. Rantala, S. Juuso, R. Levy, L. Kivimaki, M. DescourFluidic self-assembly of micromirrors onto surface micromachined actuators
Pub Date : 2000-08-21 DOI: 10.1109/OMEMS.2000.879626 U. Srinivasan, M. Helmbrecht, C. Rembe, R. Muller, R. HoweThermal time response of microfilaments
Pub Date : 2000-08-21 DOI: 10.1109/OMEMS.2000.879657 R. Supino, J. Talghader
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