1997 IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing Conference Proceedings (Cat. No.97CH36023)

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CiteScore	SJR	SNIP	CiteScore排名
0.8	0.229	0.405	学科排名百分位大类：Engineering 小类：Industrial and Manufacturing Engineering 296 / 384 23% 大类：Engineering 小类：Electrical and Electronic Engineering 676 / 797 15% 大类：Materials Science 小类：Electronic, Optical and Magnetic Materials 255 / 284 10%

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1997 IEEE International Symposium on Semiconductor Manufacturing Conference Proceedings (Cat. No.97CH36023) - 最新文献

Pub Date : 1997-10-06 DOI: 10.1109/ISSM.1997.664525 Ryo Kurosaki, Hiromi, Yoshio Watanabe, Yano, Manufacturing Enginering Div

Pub Date : 1997-10-06 DOI: 10.1109/ISSM.1997.664590 T. Smedes, P.G.A. Emonts

Pub Date : 1997-10-06 DOI: 10.1109/ISSM.1997.664513 D. W. King

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