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2014 International Symposium on Inertial Sensors and Systems (ISISS) - 最新文献
Glass-blown Pyrex resonator with compensating Ti coating for reduction of TCF
Pub Date : 2014-04-03 DOI: 10.1109/ISISS.2014.6782511 J. Giner, L. Valdevit, A. ShkelEffect of annealing on mechanical quality factor of fused quartz hemispherical resonator
Pub Date : 2014-04-03 DOI: 10.1109/ISISS.2014.6782512 M. Ahamed, D. Senkal, A. ShkelWafer level hermetic encapsulation of MEMS inertial sensors using SOI cap wafers with vertical feedthroughs
Pub Date : 2014-04-03 DOI: 10.1109/ISISS.2014.6782539 M. M. Torunbalci, S. E. Alper, T. Akin
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