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64中文名称：
电子工业专用设备
英文名称：
Equipment for Electronic Products Manufacturing
曾用名：
半导体设备
CN：
62-1077/TN
影响因子：
0.253
ISSN：
1004-4507
主管：
中国电子科技集团公司
主办单位：
中国电子科技集团第四十五研究所
CiteScore：
| CiteScore | SJR | SNIP | CiteScore排名 |
|---|---|---|---|
| 0.0 | 0.100 | 0.000 | 学科 排名 百分位 大类：Engineering 小类：Electrical and Electronic Engineering 787 / 797 0% |
发文信息
发文量：
5510
被引量：
12799
历年影响因子
历年发表
投稿信息
出版周期：
双月
出版语言：
中文
邮政编码：
100029
Email：
faith＿epe@sohu.net
编辑部地址：
北京市
Equipment for Electronic Products Manufacturing - 最新文献
The Next Generation Lithography
Pub Date : 2005-01-01 DOI: 10.1016/s0961-1290(05)71100-5 Yu Guo-bing
免责声明：
本页显示期刊或杂志信息，仅供参考学习，不是任何期刊杂志官网，不涉及出版事务，特此申明。如需出版一切事务需要用户自己向出版商联系核实。若本页展示内容有任何问题，请联系我们，邮箱：info@booksci.cn，我们会认真核实处理。
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