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电子工业专用设备

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中文名称：

电子工业专用设备

英文名称：

Equipment for Electronic Products Manufacturing

曾用名：

半导体设备

CN：

62-1077/TN

影响因子：

0.253

ISSN：

1004-4507

期刊官网：

http://dgzs.cbpt.cnki.net/WKE/WebPublication/index.aspx?mid=DGZS

主管：

中国电子科技集团公司

主办单位：

中国电子科技集团第四十五研究所

CiteScore：

CiteScore	SJR	SNIP	CiteScore排名
0.0	0.100	0.000	学科排名百分位大类：Engineering 小类：Electrical and Electronic Engineering 787 / 797 0%

发文信息

发文量：

5510

被引量：

12799

历年影响因子

历年发表

投稿信息

出版周期：

双月

出版语言：

中文

邮政编码：

100029

Email：

faith＿epe@sohu.net

投稿网址：

http://dgzs.cbpt.cnki.net/EditorEN/index.aspx?t=1

编辑部地址：

北京市

电子工业专用设备 - 最新文献

The Next Generation Lithography

Pub Date : 2005-01-01 DOI: 10.1016/s0961-1290(05)71100-5 Yu Guo-bing

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