FA Approach on MIM (Metal-Insulator-Metal) Capacitor Failures

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DOI:10.31399/asm.cp.istfa2021p0324
作者：Kuang Shien Lee, Lai Khei Kuan
文献类型：期刊论文
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Abstract： MIM (Metal-Insulator-Metal) capacitor is a capacitor fabricated between metal layers and usually in an array form. Since it is usually buried within stack of back-end metal layers, neither

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2024-10-03

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