DFT-COSMO方法在高光灵敏度光刻胶及微纳增材制造打印方面的应用

本文介绍了清华大学和浙江大学合作研发的一种基于金属氧化物杂化纳米颗粒的高光灵敏度光刻胶材料。该研究利用光致极性变化原理，通过双光子光刻技术实现了米/秒级的打印速率，显著提升了传统双光子光刻技术的打印效率。研究团队通过自主搭建的双光子光刻设备，成功将打印速率提升至7.77 m/s，比传统速率快了3-5个数量级。此外，该光刻胶还保持了微纳米级的打印精度，最小线宽可达38 nm。通过DFT-COSMO方法模拟预测了光刻胶组分的电荷密度分布，揭示了光敏剂BTMST引发的光致极性变化机制。这一创新不仅大幅提高了双光子光刻技术的制造效率，而且有望推动该技术在微纳增材制造领域的大规模应用。