伊利诺伊大学香槟分校ES&T：半导体产业中的PFAS——从PFAS依赖到环境零排放的闭环治理路线

本文系统探讨了半导体产业中全氟/多氟烷基物质（PFAS）的依赖现状及其环境治理挑战。背景方面，PFAS因其优异性能在半导体光刻、刻蚀等核心制程中不可或缺，但其持久性和生物累积性已引发全球监管压力。研究目的旨在破解半导体PFAS废物管理难题，通过梳理其全生命周期流向，评估现有治理技术，并提出可持续解决方案。结论指出，需从单纯物理拦截转向“分离-浓缩-销毁”的闭环治理范式，结合电化学氧化、超临界水氧化等深度销毁技术，并基于“必要用途”原则推动替代材料研发，以实现环境零排放目标。