上海大学张建华/张磊/王震宇团队Nature Commun.：基于金属有机化学气相沉积的晶圆级二维超导单晶外延生长

背景：二维过渡金属硫族化合物（TMDCs）因其优异特性在纳米电子与光电子器件中具有应用潜力，但高质量、晶圆级二维超导材料的可控制备存在瓶颈。研究目的：针对上述挑战，研究旨在通过金属有机化学气相沉积（MOCVD）方法，实现晶圆级二维超导TMDC单晶多层薄膜的外延生长。结论：该研究成功在蓝宝石衬底上外延生长出高质量、单一2H相的晶圆级NbS₂单晶薄膜，器件表现出稳定的超导特性与高良率，验证了方法的通用性，为二维超导材料的规模化应用奠定了材料基础。