【Nature Communications】超高密度可贴合有机晶体管问世，光刻技术迎来“有机兼容”革命！
材料人
2025-10-23 09:40
文章摘要
本研究针对有机材料与传统光刻工艺不兼容的行业难题，提出双保护层光刻策略。通过设计抗溶剂/抗水的双重保护机制，实现了对所有有机功能层的无损图案化，达到0.5μm线宽和512万个/cm²的器件密度。该技术成功制备出柔性逻辑电路和可贴合OLED显示屏，经万次开关和十万次折叠测试仍保持稳定性能，为可穿戴设备和植入式医疗器件的商业化应用提供了关键技术支撑。
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