南开大学张磊教授ACS Nano：烯基/硫醇共功能化钛氧纳米簇实现协同光刻，提升分辨率和灵敏度
高分子科学前沿
2025-10-10 07:18
文章摘要
背景：二氧化钛纳米材料在半导体领域具有重要应用潜力，但其在光刻技术中的直接应用受限于溶解性、成膜能力和反应活性不足的问题。研究目的：南开大学张磊教授团队通过烯基/硫醇共功能化修饰钛氧簇，旨在开发兼具高分辨率和高灵敏度的新型光刻材料。结论：成功制备的双功能钛氧簇TOC-4通过烯基聚合与硫醇-烯点击反应的双重交联机制，将曝光能量需求降低70%以上，实现了12.9纳米分辨率的图案制作，为金属氧化物簇光刻胶提供了突破性解决方案。
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