研究前沿:二维材料界面工程:高介电材料ZrO₂/MoS₂ | Nature Electronics

今日新材料 2025-10-07 11:30
文章摘要
背景:二维过渡金属硫族化合物半导体具有理想的晶体管沟道技术属性,但需要与工业兼容的高介电栅极电介质集成。研究目的:探索氧化锆(ZrO₂)与二维二硫化钼(MoS₂)形成清洁界面的可行性,并评估其在场效应晶体管中的应用性能。结论:研究发现ZrO₂与MoS₂形成无缺陷的范德华界面,显著提升晶体管性能,包括稳定的阈值电压、低亚阈值摆幅和高导通电流,为下一代纳米电子器件发展提供了新路径。
研究前沿:二维材料界面工程:高介电材料ZrO₂/MoS₂ | Nature Electronics
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