重磅亮相——玉之泉国产高端紫外直写光刻系统全面就位
中国激光杂志社
2025-10-06 10:00
文章摘要
本文介绍了玉之泉AOD紫外激光直写光刻系统在光电博览会上的亮相。背景方面,该系统突破了传统掩模加工限制,解决了研发周期长和成本高的问题。研究目的旨在展示该系统在半导体、生物医疗和微光学等领域的应用价值,通过超精细加工、高稳定性和灵活性满足复杂微纳结构的快速原型验证需求。结论指出,该设备成功打破了欧美技术垄断,为相关行业提供了可靠的国产高端工具支撑,推动了技术创新和产业化应用。
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