重磅亮相——玉之泉国产高端紫外直写光刻系统全面就位

中国激光杂志社 2025-10-06 10:00
文章摘要
本文介绍了玉之泉AOD紫外激光直写光刻系统在光电博览会上的亮相。背景方面,该系统突破了传统掩模加工限制,解决了研发周期长和成本高的问题。研究目的旨在展示该系统在半导体、生物医疗和微光学等领域的应用价值,通过超精细加工、高稳定性和灵活性满足复杂微纳结构的快速原型验证需求。结论指出,该设备成功打破了欧美技术垄断,为相关行业提供了可靠的国产高端工具支撑,推动了技术创新和产业化应用。
重磅亮相——玉之泉国产高端紫外直写光刻系统全面就位
本站注明稿件来源为其他媒体的文/图等稿件均为转载稿,本站转载出于非商业性的教育和科研之目的,并不意味着赞同其观点或证实其内容的真实性。如转载稿涉及版权等问题,请作者速来电或来函联系。
中国激光杂志社
最新文章
热门类别
相关文章
联系我们:info@booksci.cn Book学术提供免费学术资源搜索服务,方便国内外学者检索中英文文献。致力于提供最便捷和优质的服务体验。 Copyright © 2023 布克学术 All rights reserved.
京ICP备2023020795号-1
ghs 京公网安备 11010802042870号
Book学术文献互助
Book学术文献互助群
群 号:604180095
Book学术官方微信