范德华（vdW）材料转移，发一篇Nature！

本文针对范德华材料三维集成中传统转移技术存在的局限性，提出了一种基于电双层静电排斥的新型转移方法。研究背景表明，现有技术难以同时满足材料完整性、界面清洁度、转移效率及成本控制等多重要求。该研究通过调控氨水溶液的pH和离子浓度，利用静电排斥力实现无刻蚀、晶圆级、高产率的材料剥离，并成功应用于过渡金属二硫化物、碳纳米管等多种材料。实验结果表明，该方法制备的二维场效应晶体管具有100%产率、7mV超低迟滞和65.9mV/dec接近理想的亚阈值摆幅，结合铋接触更实现了1.3mA/μm的超高导通电流。结论证实该技术为范德华材料在三维集成和高性能电子器件领域的工业化应用提供了突破性解决方案。