粒子加速器是摩尔定律的未来吗？

背景：极紫外光刻技术是支撑先进芯片制造的关键技术，但现有系统复杂昂贵且效率低下。研究目的：日本高能加速器研究机构提出利用能量回收直线加速器驱动自由电子激光，以产生更高功率、更低成本的极紫外光源。结论：该方法理论上可显著提升效率并降低芯片制造成本，但仍面临技术可靠性、资金投入及产业化时间等挑战。