研究进展：热探针光刻 | Nature Protocols

背景：热扫描探针光刻（tSPL）是一种先进的纳米加工技术，通过加热针尖实现高精度纳米结构制备，但在形貌分析方面存在技术空白。研究目的：开发开源软件FunFit用于SPM数据函数拟合，建立纳米制造与表征协议，提升工艺可重复性。结论：该协议成功实现了聚合物到六方氮化硼的图案转移，为光子学和电子学器件提供了定制化形貌控制手段，显著提高制造精度和分析效率。