曹良才等Light综述：人工智能赋能逆向光刻技术
中国光学
2025-09-02 11:06
文章摘要
背景：随着摩尔定律推进，光刻技术面临分辨率提升瓶颈和成本压力，计算光刻成为突破关键技术。研究目的：综述人工智能赋能逆向光刻技术的最新进展，分析其在光刻建模、掩模优化等环节的应用价值。结论：人工智能通过卷积神经网络、生成对抗网络等技术显著提升计算效率和成像质量，但存在可解释性不足等挑战，未来需融合物理模型与算法优化，协同掩模制造技术创新。
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