南京大学王欣然教授团队 Nat. Mater.:实现晶圆级二维半导体堆垛调控新进展

清新电源 2025-07-14 09:56
文章摘要
南京大学王欣然教授团队在Nature Materials期刊上发表研究,报道了晶圆级菱方相(3R相)二硫化钼(MoS₂)的同质外延生长,并展示了其在铁电器件及存储应用中的潜力。该研究通过精准调控过渡金属前驱体浓度,结合人工智能图像识别技术,成功实现了3R相MoS₂的制备,并揭示了Mo替位S缺陷对3R相选择性形成的促进作用。此外,研究还证实了3R-MoS₂的滑移铁电性,并构建了超薄铁电晶体管阵列,展现出优异的存储性能。这一成果为二维材料的结构调控和器件应用提供了新的思路。
南京大学王欣然教授团队 Nat. Mater.:实现晶圆级二维半导体堆垛调控新进展
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