Nat Mater:南京大学/苏州实验室王欣然团队实现晶圆级二维半导体堆垛调控新突破
计算材料学
2025-07-11 10:05
文章摘要
本文报道了南京大学王欣然教授课题组联合苏州实验室、东南大学等单位在Nature Materials期刊上发表的研究成果。该研究实现了晶圆级菱方相(3R相)二硫化钼(MoS₂)的同质外延生长,并展示了其在铁电器件及存储应用中的潜力。研究团队通过精准调控过渡金属前驱体浓度,成功制备出纯3R相的多层MoS₂晶圆,并利用人工智能图像识别技术证实3R相比例接近100%。理论计算和实验验证揭示了Mo替位S缺陷对3R相选择性生长的促进作用。此外,研究还展示了3R-MoS₂的滑移铁电性,并构建了超薄铁电晶体管阵列,表现出优异的数据保持能力和多态写入能力,为未来高密度、低功耗存储器件的发展提供了新思路。
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