Nat Mater：南京大学/苏州实验室王欣然团队实现晶圆级二维半导体堆垛调控新突破

本文报道了南京大学王欣然教授课题组联合苏州实验室、东南大学等单位在Nature Materials期刊上发表的研究成果。该研究实现了晶圆级菱方相（3R相）二硫化钼（MoS₂）的同质外延生长，并展示了其在铁电器件及存储应用中的潜力。研究团队通过精准调控过渡金属前驱体浓度，成功制备出纯3R相的多层MoS₂晶圆，并利用人工智能图像识别技术证实3R相比例接近100%。理论计算和实验验证揭示了Mo替位S缺陷对3R相选择性生长的促进作用。此外，研究还展示了3R-MoS₂的滑移铁电性，并构建了超薄铁电晶体管阵列，表现出优异的数据保持能力和多态写入能力，为未来高密度、低功耗存储器件的发展提供了新思路。