光学精密工程 | 2025年第9期目录

本文介绍了基于自注意力神经网络的低信噪比光谱干涉膜厚测量方法。背景方面，随着精密制造的发展，对晶圆厚度等参数的测量精度要求越来越高。研究目的是利用自注意力神经网络提高光谱干涉测量在低信噪比环境下的测量精度和稳定性。结论表明，该方法能有效提升抗噪声能力和测量稳定性，为精密测量提供了新思路。