上海交通大学李学刚教授团队:变废为宝——二氯氢硅揭开甲硅烷生产新篇章

RSC英国皇家化学会 2025-06-02 09:40
文章摘要
本文介绍了上海交通大学李学刚教授团队与沈阳化工大学周明东教授团队合作研究的二氯氢硅(DCS)歧化制甲硅烷新路线。高纯甲硅烷在微电子和光电子领域有广泛应用,传统生产方法工艺流程长、成本高。研究团队通过优化DCS歧化反应工艺,成功实现了甲硅烷的高效生产,并与多晶硅工艺紧密结合,显著降低了能耗。研究表明,DCS路线在热力学和动力学上均优于传统三氯氢硅(TCS)路线,单位能耗降低78%。该技术已在通威股份旗下公司实现工业化应用,为光伏企业提供了自产自用的高效解决方案。
上海交通大学李学刚教授团队:变废为宝——二氯氢硅揭开甲硅烷生产新篇章
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