表面分析技术有哪些？

本文深入探讨了表面分析技术的定义、原理、分类及应用。表面分析技术利用光子、电子、质子、中子、离子等“探针”与材料表面的相互作用，获取材料信息。文章详细介绍了X射线光电子能谱（XPS）、俄歇电子能谱（AES）和二次离子质谱（SIMS）等技术的原理和应用。XPS通过测量电子结合能识别材料的化学元素组成和价态；AES通过俄歇电子识别元素成分；SIMS则通过二次离子分析表面元素组分和分布。此外，文章还介绍了电子能谱相关技术，如原子力显微镜（AFM）和表面等离子体共振（SPR），并讨论了XPS/AES信号测量材料厚度的方法。