南京大学《Nature Communications》：高性能晶硅器件集成制备技术新路径！
材料科学与工程
2025-04-09 14:46
文章摘要
本文介绍了南京大学余林蔚教授团队在《Nature Communications》上发表的一项研究，提出了一种基于面内固-液-固（IPSLS）纳米线生长模式的新技术，用于集成制备超细、超短晶硅纳米线沟道阵列。该技术通过控制催化液滴的“Step-Necking收缩”效应，在低温条件下成功生长出精细沟道结构，解决了传统光刻技术在大面积衬底上应用的局限性。研究展示了高性能薄膜晶体管（TFT）器件的优异性能，包括高开关比和低亚阈值摆幅，为新一代显示驱动、柔性电子和脑机接口等应用提供了新的技术路径。
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