Light | 由i线步进光刻技术制造的基于彩色光刻胶的光学菲涅尔波带片平面透镜

本文介绍了日本Kuniaki Konishi课题组提出的一种简化的平面透镜制造方法，使用i-line步进光刻机和彩色光刻胶生产可见光波段的菲涅尔波带片（FZP）平面透镜。该方法通过涂覆、曝光和显影即可完成制造，无需刻蚀或其他后处理步骤，展示了其在成像领域的实际应用潜力。研究背景指出，随着光学操控技术的发展，对光学元件小型化和集成化的需求日益增长。超表面和衍射光学元件因其极小的厚度而受到关注，但制造工艺复杂且成本高。FZP因其不需要大宽高比的结构来实现相位调制，成为使用步进式光刻机大规模生产平面透镜的有力候选者。创新研究部分详细描述了使用彩色光刻胶制造FZP透镜的过程及其性能测试结果。总结与展望部分强调了该技术在光学聚焦及成像方面的优异性能，以及其在未来光学元件制造中的创新意义和参考价值。