研究前沿:复旦大学 二维材料-巨量转移技术 | Nature Electronics

今日新材料 2025-01-07 00:08
文章摘要
本文介绍了复旦大学Liwei Liu等人发表在Nature Electronics上的研究,他们开发了一种新的巨量转移技术,用于高效、精确地转移二维材料。这种技术使用带有精确排列微柱图案的聚二甲基硅氧烷印模,能够在晶圆级别上转移二维材料,并堆叠成范德瓦尔斯异质结构阵列。研究中,通过添加乙醇-水溶液,实现了薄膜的分层,成功转移了2英寸单层二硫化钼薄膜,显示出高密度和高产率。此外,该技术还用于创建不同器件架构的集成二维晶体管,显示出高器件成品率和优异的电气性能。研究还开发了毛细力辅助转移模型,解释了快速转移机制。
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