斯坦福大学鲍哲南教授 ACS Nano：高性能本质可拉伸晶体管和软集成电路的设计和制备Protocols

本文由斯坦福大学鲍哲南教授课题组发表，详细介绍了高性能本质可拉伸晶体管和软集成电路的设计与制备。文章首先讨论了当前本质可拉伸电子器件的局限性，如特征尺寸较大和晶体管密度低。随后，提出了通过材料设计、器件结构优化和制造工艺创新来提升性能的解决方案。重点介绍了非离子性高介电常数弹性体、半导体碳纳米管网络和液态金属镓铟合金等材料的应用，以及制造过程中的关键技术，如金属辅助剥离方法和光刻胶显影工艺。最后，文章提供了详细的实验程序和故障排除指南，以促进可拉伸电子技术的进一步发展。