普渡大学汪海燕Small Methods：回收钛酸锶(SrTiO₃)基底助力复杂氧化物薄膜可持续生长

普渡大学汪海燕课题组研究了在回收的钛酸锶（SrTiO₃）基底上进行复杂氧化物薄膜的可持续生长。研究发现，回收基底由于之前的氧化物沉积引入了预应变状态，显著影响了后续薄膜的微观结构和物理性能。通过高分辨透射电子显微镜和几何相位分析，观察到回收基底与原始基底在表面应变状态上的差异，这种差异直接影响了薄膜的结晶质量和磁各向异性。研究结果表明，经过适当处理的回收基底可以提供不同的应变环境，从而在特定应用中实现优化的薄膜性能。此外，回收基底的使用大大降低了薄膜生长的成本，提高了工艺的可持续性，为半导体行业中复杂氧化物薄膜的制备提供了重要的科学依据和技术参考。