封面 | 基于碳化硅色心的微纳全光测温方法

本文介绍了一种基于碳化硅色心的全光纳米温度传感技术。研究团队利用4H-SiC材料中的硅空位和双空位色心，通过980 nm激光激发并测量反斯托克斯与斯托克斯发射的强度比，实现了高灵敏度的实时温度传感。该方法无需复杂的光谱分析，显著提高了测量速度和精度。由于碳化硅在集成电路和半导体行业中的广泛应用，该技术为光学测温技术在集成器件或芯片行业的应用提供了新思路。