А Д Буравлев, А.Н. Казакин, Ю. А. Нащекина, А. В. Нащекин, Е.В. Убыйвовк, В.А. Астраханцева, Андрей Викторович Осипов, Г.В. Святец, Сергей Арсеньевич Кукушкин
{"title":"生物相容的SiC-纳米管的形成","authors":"А Д Буравлев, А.Н. Казакин, Ю. А. Нащекина, А. В. Нащекин, Е.В. Убыйвовк, В.А. Астраханцева, Андрей Викторович Осипов, Г.В. Святец, Сергей Арсеньевич Кукушкин","doi":"10.21883/ftp.2023.05.56201.28k","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"При проведении экспериментов по синтезу слоев карбида кремния на монокристаллических подложках кремния с помощью метода согласованного замещения атомов обнаружено, что образование тонких пленок карбида кремния может сопровождаться формированием массивов нанотрубок карбида кремния произрастающих в глубь кремниевых подложек. Таким образом, впервые обнаружен новый механизм образования карбид-кремниевых нанотрубок ---\"сверху-вниз\". Ключевые слова: карбид кремния, нанотрубки, пар-жидкость-кристалл, формирование наноструктур.","PeriodicalId":24054,"journal":{"name":"Физика и техника полупроводников","volume":"3 1","pages":""},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2023-01-01","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":"{\"title\":\"Формирование биосовместимых SiC-нанотрубок \\\"сверху-вниз\\\"\",\"authors\":\"А Д Буравлев, А.Н. Казакин, Ю. А. Нащекина, А. В. Нащекин, Е.В. Убыйвовк, В.А. Астраханцева, Андрей Викторович Осипов, Г.В. Святец, Сергей Арсеньевич Кукушкин\",\"doi\":\"10.21883/ftp.2023.05.56201.28k\",\"DOIUrl\":null,\"url\":null,\"abstract\":\"При проведении экспериментов по синтезу слоев карбида кремния на монокристаллических подложках кремния с помощью метода согласованного замещения атомов обнаружено, что образование тонких пленок карбида кремния может сопровождаться формированием массивов нанотрубок карбида кремния произрастающих в глубь кремниевых подложек. Таким образом, впервые обнаружен новый механизм образования карбид-кремниевых нанотрубок ---\\\"сверху-вниз\\\". Ключевые слова: карбид кремния, нанотрубки, пар-жидкость-кристалл, формирование наноструктур.\",\"PeriodicalId\":24054,\"journal\":{\"name\":\"Физика и техника полупроводников\",\"volume\":\"3 1\",\"pages\":\"\"},\"PeriodicalIF\":0.0000,\"publicationDate\":\"2023-01-01\",\"publicationTypes\":\"Journal Article\",\"fieldsOfStudy\":null,\"isOpenAccess\":false,\"openAccessPdf\":\"\",\"citationCount\":\"0\",\"resultStr\":null,\"platform\":\"Semanticscholar\",\"paperid\":null,\"PeriodicalName\":\"Физика и техника полупроводников\",\"FirstCategoryId\":\"1085\",\"ListUrlMain\":\"https://doi.org/10.21883/ftp.2023.05.56201.28k\",\"RegionNum\":0,\"RegionCategory\":null,\"ArticlePicture\":[],\"TitleCN\":null,\"AbstractTextCN\":null,\"PMCID\":null,\"EPubDate\":\"\",\"PubModel\":\"\",\"JCR\":\"\",\"JCRName\":\"\",\"Score\":null,\"Total\":0}","platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Физика и техника полупроводников","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.21883/ftp.2023.05.56201.28k","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}
Формирование биосовместимых SiC-нанотрубок "сверху-вниз"
При проведении экспериментов по синтезу слоев карбида кремния на монокристаллических подложках кремния с помощью метода согласованного замещения атомов обнаружено, что образование тонких пленок карбида кремния может сопровождаться формированием массивов нанотрубок карбида кремния произрастающих в глубь кремниевых подложек. Таким образом, впервые обнаружен новый механизм образования карбид-кремниевых нанотрубок ---"сверху-вниз". Ключевые слова: карбид кремния, нанотрубки, пар-жидкость-кристалл, формирование наноструктур.
求助内容：
应助结果提醒方式：
京公网安备 11010802042870号
