β-赛龙(Z=3)氮气压烧结

英治 谷, 弘道 一ノ瀬, 和司 岸, 正気 梅林, 和夫 小林
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摘要

采用Si3N4、Al2O3、AlN的混合粉末制成z=3组成的β- cyon (si - zalzozn8 -z;z=0-4.2)在温度1800°-2000℃、氮气压力0.1- 4mpa的条件下进行气氛加压烧结。烧结时,作为填料粉,采用了相当于β-重离子z=3(+4)(4当量%氧过剩)组成的Si3N4、Al2O3、AlN的混合粉末。将z=3(+4)组成的β-重离子加热至1800℃,在0.1MPa烧结时,得到了最高密度为3.05g/cm3(理论密度的99%)的烧结体。另外,即使在2000℃下,z=3(+2)组成的β-重离子在2mpa下为2.96g/cm3(理论密度的96%)的高密度烧结体。1800℃时1mpa、1900℃时2mpa、2000℃时4mpa以上的氮压可以抑制β-重离子单相的热分解。另一方面,β-重叠层和X相构成的两相重叠层的热分解在2000℃以上发生,在2000℃时通过4mpa以上的氮压就能抑制。研究表明,样品中过量氧成分和氮压的效果显著。
本文章由计算机程序翻译,如有差异,请以英文原文为准。
β-サイアロン (Z=3) の窒素ガス圧焼結
Si3N4, Al2O3, AlNの混合粉末を用いてz=3組成のβ-サイアロン (Si6-zAlzOzN8-z; z=0-4.2) を温度1800°-2000℃, 窒素圧力0.1-4MPaの条件下で雰囲気加圧焼結を行った. 焼結には, 詰め粉としてβ-サイアロンのz=3(+4) (4当量%酸素過剰) 組成に相当するSi3N4, Al2O3, AlNの混合粉末を用いた.z=3(+4) 組成のβ-サイアロンを1800℃, 0.1MPaで焼成した場合, 最高密度3.05g/cm3 (理論密度の99%) の焼結体を得た. また2000℃においてもz=3(+2) 組成のβ-サイアロンは2MPaで2.96g/cm3 (理論密度の96%) の高密度焼結体を得ることができた.β-サイアロン単相の熱分解は, 1800℃では1MPa, 1900℃では2MPa, 2000℃では4MPa以上の窒素圧により抑えることができた. 一方, β-サイアロンとX相からなる2相サイアロンの熱分解は2000℃以上で生じ, 2000℃では4MPa以上の窒素圧により抑えることができた.β-サイアロンの雰囲気加圧焼結には, 詰め粉, 試料中の過剰酸素成分量及び窒素圧の効果が大きいことが明らかになった.
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