薄二嵌段共聚物薄膜自由表面上的岛和孔。一、形成和生长特点

Journal De Physique Pub Date : 1990-12-01 DOI:10.1051/JPHYS:0199000510240280100

G. Coulon, B. Collin, D. Ausserré, D. Chatenay, T. Russell

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引用次数: 78

摘要

对称的聚苯乙烯/聚甲基丙烯酸甲酯二嵌段共聚物沉积在硅衬底上，在热力学平衡下形成平行于衬底的多层结构。如果上层不完整，就会形成小岛或洞。用原位干涉显微镜研究了它们的形成和生长动力学。只考虑致密系统(当覆盖率超过30%的岛屿或孔洞时)。在短时间内，小岛的形成与洞的形成不同。随着时间的推移，小岛和洞的生长受到同样的机制的控制:个体生长、合并和消失。

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Islands and holes on the free surface of thin diblock copolymer films. I. Characteristics of formation and growth

Les copolymeres diblocs symetriques polystyrene/polymethylmethacrylate deposes sur un substrat de silicium, forment a l'equilibre thermodynamique, une structure multicouche parallele au substrat. Si la couche superieure est incomplete, des ilots ou des trous se forment dans celle-ci. Leur cinetique de formation et de croissance est etudiee par microscopie interferometrique in situ. Seuls les systemes denses (≃30% d'ilots ou de trous en taux de couverture) sont envisages. Aux temps courts, la formation des ilots est differente de celle des trous. Aux temps longs, la croissance des ilots et des trous est controlee par les memes mecanismes: croissance individuelle, coalescence et disparition

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