S. Sugianto, P. Marwoto, B. Astuti, R. Zannah, Yanti Yanti
{"title":"温度沉积对微胶片结构和性质的影响:Al与直流磁流的方法","authors":"S. Sugianto, P. Marwoto, B. Astuti, R. Zannah, Yanti Yanti","doi":"10.15294/jf.v5i2.7410","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Film tipis zinc oxide doping aluminium (ZnO:Al) telah dideposisikan di atas substrat corning glass dengan metode DC magnetron sputtering. Penumbuhan dilakukan dengan memvariasi temperatur deposisi (27°C, 200oC, 300oC, dan 400°C). Analisis X-ray diffraction (XRD) menunjukkan struktur kristal wurtzite dengan orientasi sumbu-c. Ukuran butir kristal meningkat dari 35 nm sampai 52 nm. Analisis scanning electron microscopy (SEM) menunjukkan bahwa ukuran butir bertambah besar dengan bertambahnya temperatur deposisi. Peningkatan temperatur deposisi juga menyebabkan peningkatan nilai transmitansi dari 70% sampai 83% dengan tepi absorpsi pada panjang gelombang sekitar 380 nm.","PeriodicalId":30730,"journal":{"name":"Jurnal Fisika","volume":"5 1","pages":"79632"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2015-11-03","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"1","resultStr":"{\"title\":\"Pengaruh Temperatur Deposisi Terhadap Struktur Dan Sifat Optik Film Tipis ZnO:Al Dengan Metode DC Magnetron Sputtering\",\"authors\":\"S. Sugianto, P. Marwoto, B. Astuti, R. Zannah, Yanti Yanti\",\"doi\":\"10.15294/jf.v5i2.7410\",\"DOIUrl\":null,\"url\":null,\"abstract\":\"Film tipis zinc oxide doping aluminium (ZnO:Al) telah dideposisikan di atas substrat corning glass dengan metode DC magnetron sputtering. Penumbuhan dilakukan dengan memvariasi temperatur deposisi (27°C, 200oC, 300oC, dan 400°C). Analisis X-ray diffraction (XRD) menunjukkan struktur kristal wurtzite dengan orientasi sumbu-c. Ukuran butir kristal meningkat dari 35 nm sampai 52 nm. Analisis scanning electron microscopy (SEM) menunjukkan bahwa ukuran butir bertambah besar dengan bertambahnya temperatur deposisi. Peningkatan temperatur deposisi juga menyebabkan peningkatan nilai transmitansi dari 70% sampai 83% dengan tepi absorpsi pada panjang gelombang sekitar 380 nm.\",\"PeriodicalId\":30730,\"journal\":{\"name\":\"Jurnal Fisika\",\"volume\":\"5 1\",\"pages\":\"79632\"},\"PeriodicalIF\":0.0000,\"publicationDate\":\"2015-11-03\",\"publicationTypes\":\"Journal Article\",\"fieldsOfStudy\":null,\"isOpenAccess\":false,\"openAccessPdf\":\"\",\"citationCount\":\"1\",\"resultStr\":null,\"platform\":\"Semanticscholar\",\"paperid\":null,\"PeriodicalName\":\"Jurnal Fisika\",\"FirstCategoryId\":\"1085\",\"ListUrlMain\":\"https://doi.org/10.15294/jf.v5i2.7410\",\"RegionNum\":0,\"RegionCategory\":null,\"ArticlePicture\":[],\"TitleCN\":null,\"AbstractTextCN\":null,\"PMCID\":null,\"EPubDate\":\"\",\"PubModel\":\"\",\"JCR\":\"\",\"JCRName\":\"\",\"Score\":null,\"Total\":0}","platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Jurnal Fisika","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.15294/jf.v5i2.7410","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}
Pengaruh Temperatur Deposisi Terhadap Struktur Dan Sifat Optik Film Tipis ZnO:Al Dengan Metode DC Magnetron Sputtering
Film tipis zinc oxide doping aluminium (ZnO:Al) telah dideposisikan di atas substrat corning glass dengan metode DC magnetron sputtering. Penumbuhan dilakukan dengan memvariasi temperatur deposisi (27°C, 200oC, 300oC, dan 400°C). Analisis X-ray diffraction (XRD) menunjukkan struktur kristal wurtzite dengan orientasi sumbu-c. Ukuran butir kristal meningkat dari 35 nm sampai 52 nm. Analisis scanning electron microscopy (SEM) menunjukkan bahwa ukuran butir bertambah besar dengan bertambahnya temperatur deposisi. Peningkatan temperatur deposisi juga menyebabkan peningkatan nilai transmitansi dari 70% sampai 83% dengan tepi absorpsi pada panjang gelombang sekitar 380 nm.
求助内容：
应助结果提醒方式：
京公网安备 11010802042870号
