表面测量的相互比较

Nancy Brambilla, Daniel Brusa, Juan Caselles, C. Mas, C. Schurrer
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摘要

微观和纳米结构表面测量的可追溯性是确保涵盖化学、生物、材料科学等学科领域的创新、研究和开发项目质量的必然条件,也是工业粗糙度测量的要求。计量可靠性(ISO 10012)的前提是使用校准的仪器、可追溯的标准、经验证的测量程序和不确定度平衡。这些要求在显微镜下并不常见,是一个需要解决的弱点。本文介绍了用粗糙度计、共焦显微镜、原子力显微镜和扫描电子显微镜四种仪器对二维和三维图案表面纹理测量的相互比较结果。通过比较标准化误差(EN)来衡量系统影响及其不确定性的符合性评估(ISO 17043)验证了显微镜作为计量工具的使用。
本文章由计算机程序翻译,如有差异,请以英文原文为准。
Intercomparación en Mediciones Superficiales
La trazabilidad en mediciones superficiales de micro y nanoestructuras es condición ineludible para garantizar la calidad en proyectos de innovación, investigación y desarrollo en el espectro disciplinar que abarca las ciencias químicas, biológicas, de materiales, siendo además un requisito para mediciones de rugosidad en la industria. La confiabilidad metrológica (ISO 10012) presupone el uso de instrumentos calibrados, patrones trazables, procedimientos de medición validados y balances de incertidumbre. Estos requerimientos no son habituales en microscopía y representa una debilidad a subsanar. En este trabajo se presentan los resultados de la intercomparación de mediciones de textura superficial en patrones 2D y 3D con cuatro tipos de instrumentos: Rugosímetro, Microscopio Confocal, Microscopio de Fuerza Atómica y Microscopio Electrónico de Barrido. Las evaluaciones de conformidad (ISO 17043) mediante la comparación de los errores normalizados (En), que ponderan los efectos sistemáticos y sus incertidumbres, convalidan el uso de los microscopios como instrumentos metrológicos.
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