用于原位测量半导体衬底温度的漫反射光谱(DRS)系统的硬件和软件开发

Tecnologia y Ciencia Pub Date : 2021-08-03 DOI:10.33414/rtyc.41.118-134.2021

Faramarz Sahra Gard

{"title":"用于原位测量半导体衬底温度的漫反射光谱(DRS)系统的硬件和软件开发","authors":"Faramarz Sahra Gard","doi":"10.33414/rtyc.41.118-134.2021","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Se desarrolla un sistema de espectroscopia de reflectancia difusa (DRS) para medir la temperatura de materiales semiconductores en vacío ultra alto cámara. DRS es un método óptico para monitorear la temperatura de materiales semiconductores con la temperatura dependiente band gap. El sistema está calibrado y probado para sustratos de n-GaAs y GaAs. En la comunicación actual, se informa sobre el desarrollo de hardware, software y la calibración del sistema.","PeriodicalId":33018,"journal":{"name":"Tecnologia y Ciencia","volume":" ","pages":""},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2021-08-03","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":"{\"title\":\"Desarrollo de Hardware y Software de un Sistema de Espectroscopia de Reflectancia Difusa (DRS) para Medir la Temperatura del Sustrato Semiconductor in-situ\",\"authors\":\"Faramarz Sahra Gard\",\"doi\":\"10.33414/rtyc.41.118-134.2021\",\"DOIUrl\":null,\"url\":null,\"abstract\":\"Se desarrolla un sistema de espectroscopia de reflectancia difusa (DRS) para medir la temperatura de materiales semiconductores en vacío ultra alto cámara. DRS es un método óptico para monitorear la temperatura de materiales semiconductores con la temperatura dependiente band gap. El sistema está calibrado y probado para sustratos de n-GaAs y GaAs. En la comunicación actual, se informa sobre el desarrollo de hardware, software y la calibración del sistema.\",\"PeriodicalId\":33018,\"journal\":{\"name\":\"Tecnologia y Ciencia\",\"volume\":\" \",\"pages\":\"\"},\"PeriodicalIF\":0.0000,\"publicationDate\":\"2021-08-03\",\"publicationTypes\":\"Journal Article\",\"fieldsOfStudy\":null,\"isOpenAccess\":false,\"openAccessPdf\":\"\",\"citationCount\":\"0\",\"resultStr\":null,\"platform\":\"Semanticscholar\",\"paperid\":null,\"PeriodicalName\":\"Tecnologia y Ciencia\",\"FirstCategoryId\":\"1085\",\"ListUrlMain\":\"https://doi.org/10.33414/rtyc.41.118-134.2021\",\"RegionNum\":0,\"RegionCategory\":null,\"ArticlePicture\":[],\"TitleCN\":null,\"AbstractTextCN\":null,\"PMCID\":null,\"EPubDate\":\"\",\"PubModel\":\"\",\"JCR\":\"\",\"JCRName\":\"\",\"Score\":null,\"Total\":0}","platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Tecnologia y Ciencia","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.33414/rtyc.41.118-134.2021","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}

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摘要

开发了一种用于超高真空室中半导体材料温度测量的漫反射光谱(DRS)系统。DRS是一种具有带隙相关温度的半导体材料温度监测的光学方法。该系统对n-GaAs和GaAs衬底进行了校准和测试。在当前的通信中，报告硬件、软件开发和系统校准。

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Desarrollo de Hardware y Software de un Sistema de Espectroscopia de Reflectancia Difusa (DRS) para Medir la Temperatura del Sustrato Semiconductor in-situ

Se desarrolla un sistema de espectroscopia de reflectancia difusa (DRS) para medir la temperatura de materiales semiconductores en vacío ultra alto cámara. DRS es un método óptico para monitorear la temperatura de materiales semiconductores con la temperatura dependiente band gap. El sistema está calibrado y probado para sustratos de n-GaAs y GaAs. En la comunicación actual, se informa sobre el desarrollo de hardware, software y la calibración del sistema.

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