表面检测检验检测垫(SIP)

IF 0.4 Q4 ENGINEERING, MECHANICAL

Vakuum in Forschung und Praxis Pub Date : 2023-10-01 DOI:10.1002/vipr.202300808

Michael Wahl, Wolfgang Bock, Michael Kopnarski

{"title":"表面检测检验检测垫(SIP)","authors":"Michael Wahl, Wolfgang Bock, Michael Kopnarski","doi":"10.1002/vipr.202300808","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Zusammenfassung Das Surface‐Inspection‐Pad, kurz SIP, bietet eine kostengünstige und ressourcenschonende Alternative zur Probennahme für eine vakuumgestützte Kontaminationskontrolle von Bauteiloberflächen. Die Analyse der Oberflächenchemie des Bauteils erfolgt dann durch die Analyse der SIP‐Oberfläche. Zur Analyse kann neben anderen Methoden insbesondere die oberflächensensitive Flugzeit‐Sekundärionen‐Massenspektrometrie (ToF‐SIMS) verwendet werden. Die zu untersuchenden Bauteile müssen somit nicht mehr aus dem Prozess entfernt und für die Analyse zerstört werden. Der Anwendende kann so enorme Kosten einsparen. Weiterhin können SIPs für die Kontaminationskontrolle in Schmierstoffkreisläufen und Flüssigkeiten eingesetzt werden. Silikonöl (PDMS) wird dabei in Flüssigkeiten bisher mit einer Nachweisgrenze von unter 10 –6 (ppm) nachgewiesen.","PeriodicalId":42842,"journal":{"name":"Vakuum in Forschung und Praxis","volume":null,"pages":null},"PeriodicalIF":0.4000,"publicationDate":"2023-10-01","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":"{\"title\":\"Surface‐Inspection‐Pad (SIP)\",\"authors\":\"Michael Wahl, Wolfgang Bock, Michael Kopnarski\",\"doi\":\"10.1002/vipr.202300808\",\"DOIUrl\":null,\"url\":null,\"abstract\":\"Zusammenfassung Das Surface‐Inspection‐Pad, kurz SIP, bietet eine kostengünstige und ressourcenschonende Alternative zur Probennahme für eine vakuumgestützte Kontaminationskontrolle von Bauteiloberflächen. Die Analyse der Oberflächenchemie des Bauteils erfolgt dann durch die Analyse der SIP‐Oberfläche. Zur Analyse kann neben anderen Methoden insbesondere die oberflächensensitive Flugzeit‐Sekundärionen‐Massenspektrometrie (ToF‐SIMS) verwendet werden. Die zu untersuchenden Bauteile müssen somit nicht mehr aus dem Prozess entfernt und für die Analyse zerstört werden. Der Anwendende kann so enorme Kosten einsparen. Weiterhin können SIPs für die Kontaminationskontrolle in Schmierstoffkreisläufen und Flüssigkeiten eingesetzt werden. Silikonöl (PDMS) wird dabei in Flüssigkeiten bisher mit einer Nachweisgrenze von unter 10 –6 (ppm) nachgewiesen.\",\"PeriodicalId\":42842,\"journal\":{\"name\":\"Vakuum in Forschung und Praxis\",\"volume\":null,\"pages\":null},\"PeriodicalIF\":0.4000,\"publicationDate\":\"2023-10-01\",\"publicationTypes\":\"Journal Article\",\"fieldsOfStudy\":null,\"isOpenAccess\":false,\"openAccessPdf\":\"\",\"citationCount\":\"0\",\"resultStr\":null,\"platform\":\"Semanticscholar\",\"paperid\":null,\"PeriodicalName\":\"Vakuum in Forschung und Praxis\",\"FirstCategoryId\":\"1085\",\"ListUrlMain\":\"https://doi.org/10.1002/vipr.202300808\",\"RegionNum\":0,\"RegionCategory\":null,\"ArticlePicture\":[],\"TitleCN\":null,\"AbstractTextCN\":null,\"PMCID\":null,\"EPubDate\":\"\",\"PubModel\":\"\",\"JCR\":\"Q4\",\"JCRName\":\"ENGINEERING, MECHANICAL\",\"Score\":null,\"Total\":0}","platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Vakuum in Forschung und Praxis","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.1002/vipr.202300808","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"Q4","JCRName":"ENGINEERING, MECHANICAL","Score":null,"Total":0}

引用次数: 0

摘要

摘要是想通过‐委员会‐炒米粉,简称",提供了一种廉价和ressourcenschonende vakuumgestützte Probennahme批准的Kontaminationskontrolle Bauteiloberflächen .分析的Oberflächenchemie Bauteils应就通过分析"‐.表面分析可以除其他方法特别是oberflächensensitive飞‐Sekundärionen‐Massenspektrometrie (ToF‐SIMS) .用于因此需要的砖块必须暂时放置并销毁用于分析用户可以节省开支。同胞们还可以用SIPs进行干洗机及液体污染控制。最多发现液体中有不到10—6的临界点。

本文章由计算机程序翻译，如有差异，请以英文原文为准。

查看原文本刊更多论文

Surface‐Inspection‐Pad (SIP)

Zusammenfassung Das Surface‐Inspection‐Pad, kurz SIP, bietet eine kostengünstige und ressourcenschonende Alternative zur Probennahme für eine vakuumgestützte Kontaminationskontrolle von Bauteiloberflächen. Die Analyse der Oberflächenchemie des Bauteils erfolgt dann durch die Analyse der SIP‐Oberfläche. Zur Analyse kann neben anderen Methoden insbesondere die oberflächensensitive Flugzeit‐Sekundärionen‐Massenspektrometrie (ToF‐SIMS) verwendet werden. Die zu untersuchenden Bauteile müssen somit nicht mehr aus dem Prozess entfernt und für die Analyse zerstört werden. Der Anwendende kann so enorme Kosten einsparen. Weiterhin können SIPs für die Kontaminationskontrolle in Schmierstoffkreisläufen und Flüssigkeiten eingesetzt werden. Silikonöl (PDMS) wird dabei in Flüssigkeiten bisher mit einer Nachweisgrenze von unter 10 –6 (ppm) nachgewiesen.

求助全文

通过发布文献求助，成功后即可免费获取论文全文。去求助

来源期刊

Vakuum in Forschung und Praxis ENGINEERING, MECHANICAL-

CiteScore

0.30

自引率

0.00%

发文量

期刊介绍： VIP – Vakuum in Forschung und Praxis - Zeitschrift für Vakuumtechnologie, Oberflächen und Dünne Schichten ist die einzige Zeitschrift für alle Bereiche der Vakuumtechnologie und Dünnschichttechnik, die sich als Brücke und Bindeglied zwischen Wissenschaftlern, Praktikern und Anwendern aus Forschung, Entwicklung und Produktion versteht. Sie berichtet und informiert über neueste Entwicklungen und Erkenntnisse. VIP – Vakuum in Forschung und Praxis veröffentlicht u.a. - Übersichtsartikel - Fachaufsätze - referierte Beiträge aus der Forschung - Anwenderberichte - Produktinformationen - Interviews - Buchbesprechungen und -hinweise - Produkt- und Lieferantenverzeichnis