脉冲宽度对激光驱动微滴前向转移的影响

IF 0.9 4区物理与天体物理 Q4 ENGINEERING, ELECTRICAL & ELECTRONIC

激光与光电子学进展 Pub Date : 2023-01-01 DOI:10.3788/lop223006

程帅康 Cheng Shuaikang, 吴迪 Wu Di, 罗国虎 Luo Guohu, 胡永祥 Hu Yongxiang

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摘要

激光驱动微滴前向转移工艺在三维金属微结构打印方面具有重要的应用前景。脉冲宽度是影响微滴转移行为的一个重要因素，但是目前的研究对于不同脉宽下微滴产生以及沉积行为认识不够充分。本文以500 nm铜膜为对象，开展了5种不同脉宽下激光驱动微滴前向转移实验。研究结果表明，随着脉冲宽度的增大，获得完整微滴的激光驱动微滴前向转移工艺最低以及最高能流密度阈值逐渐增高，同时脉宽对沉积微滴形貌有显著影响。根据实验确定了不同脉宽下的激光驱动微滴前向转移工艺区间，并统计了不同脉宽下微滴沉积的材料转移比率。最后利用振镜线扫描方式实现大面积微滴阵列的制备。

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