{"title":"热原子层沉积法研究在大孔硅基座上创建TiO2功能覆盖层","authors":"Т.К. Турдалиев, Р.Х. Ашуров, Х.Х. Зохидов","doi":"10.52304/.v25i3.456","DOIUrl":null,"url":null,"abstract":"Макропористая кремниевая подложка, полученная электрохимическим травлением, характеризуется равномерным распределением пор. Для нанесения пленки TiO2 применен метод термального атомно-слоевого осаждения, также исследованы особенности процесса и оптимизированы его параметры. Результаты исследования подтверждены спектральной эллипсометрией, сканирующей электронной микроскопией и элементным анализом с использованием SEM EDS. Исследования показывают эффективность метода для однородного нанесения тонких пленок TiO2 на макропористые кремниевые подложки.","PeriodicalId":498992,"journal":{"name":"Uzbek journal of physics","volume":"12 1","pages":"0"},"PeriodicalIF":0.0000,"publicationDate":"2023-10-07","publicationTypes":"Journal Article","fieldsOfStudy":null,"isOpenAccess":false,"openAccessPdf":"","citationCount":"0","resultStr":"{\"title\":\"Исследование метода термального атомно-слоевого осаждения для создания функциональных покрытий TiO2 на макропористой кремниевой подложке\",\"authors\":\"Т.К. Турдалиев, Р.Х. Ашуров, Х.Х. Зохидов\",\"doi\":\"10.52304/.v25i3.456\",\"DOIUrl\":null,\"url\":null,\"abstract\":\"Макропористая кремниевая подложка, полученная электрохимическим травлением, характеризуется равномерным распределением пор. Для нанесения пленки TiO2 применен метод термального атомно-слоевого осаждения, также исследованы особенности процесса и оптимизированы его параметры. Результаты исследования подтверждены спектральной эллипсометрией, сканирующей электронной микроскопией и элементным анализом с использованием SEM EDS. Исследования показывают эффективность метода для однородного нанесения тонких пленок TiO2 на макропористые кремниевые подложки.\",\"PeriodicalId\":498992,\"journal\":{\"name\":\"Uzbek journal of physics\",\"volume\":\"12 1\",\"pages\":\"0\"},\"PeriodicalIF\":0.0000,\"publicationDate\":\"2023-10-07\",\"publicationTypes\":\"Journal Article\",\"fieldsOfStudy\":null,\"isOpenAccess\":false,\"openAccessPdf\":\"\",\"citationCount\":\"0\",\"resultStr\":null,\"platform\":\"Semanticscholar\",\"paperid\":null,\"PeriodicalName\":\"Uzbek journal of physics\",\"FirstCategoryId\":\"1085\",\"ListUrlMain\":\"https://doi.org/10.52304/.v25i3.456\",\"RegionNum\":0,\"RegionCategory\":null,\"ArticlePicture\":[],\"TitleCN\":null,\"AbstractTextCN\":null,\"PMCID\":null,\"EPubDate\":\"\",\"PubModel\":\"\",\"JCR\":\"\",\"JCRName\":\"\",\"Score\":null,\"Total\":0}","platform":"Semanticscholar","paperid":null,"PeriodicalName":"Uzbek journal of physics","FirstCategoryId":"1085","ListUrlMain":"https://doi.org/10.52304/.v25i3.456","RegionNum":0,"RegionCategory":null,"ArticlePicture":[],"TitleCN":null,"AbstractTextCN":null,"PMCID":null,"EPubDate":"","PubModel":"","JCR":"","JCRName":"","Score":null,"Total":0}
Исследование метода термального атомно-слоевого осаждения для создания функциональных покрытий TiO2 на макропористой кремниевой подложке
Макропористая кремниевая подложка, полученная электрохимическим травлением, характеризуется равномерным распределением пор. Для нанесения пленки TiO2 применен метод термального атомно-слоевого осаждения, также исследованы особенности процесса и оптимизированы его параметры. Результаты исследования подтверждены спектральной эллипсометрией, сканирующей электронной микроскопией и элементным анализом с использованием SEM EDS. Исследования показывают эффективность метода для однородного нанесения тонких пленок TiO2 на макропористые кремниевые подложки.
求助内容：
应助结果提醒方式：
京公网安备 11010802042870号
