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Encapsulation des diodes organiques électroluminescentes et microbatteries par ALD
Le probleme des diodes electroluminescentes organiques (OLED) et des microbatteries a base d’une technologie lithium reside en leur degradation rapide en presence des gaz oxydants de l’atmosphere, eau et oxygene. Des technologies d’encapsulation avancees sont donc developpees afin de proposer des niveaux barriere aux gaz tres eleves et permettre la realisation de dispositifs de nouvelle generation : plus fiables, flexibles ou conformables et moins chers. La technologie ALD (Atomic Layer Deposition) est tres bien adaptee a la realisation de couches barrieres pour ces circuits.
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